在洁净室中，洁净空调系统是维持洁净室洁净度的重要组成部分。为了使洁净室内保持所需要的温度湿度、风速、压力和洁净度等参数，最常用的方法就是通过洁净空调系统向室内不断送入一定量经过处理的空气，以消除洁净室内外各种热湿干扰及尘埃污染。
洁净空调系统维护方法：
1、定期更换高效过滤器
由于风管内的灰尘经过中效过滤器的过滤已清除90%的灰尘, 如定期更换中效过滤器，则风管的污染程度要比一般的空调风管好得多。 因此风管系统的内部彻底清洁并不是绝对必须的，每两年清洗一次对洁净度较高的洁净室也是可以接受的。又因清洗风管时引起的震动会严重影响无尘室的尘量和工作气流要求， 因此建议在停工检修期间施工。
2、安装风管检测系统
建议考虑安装风管检测系统， 以方便对风管内部尘量、 风量、 风速监测。
3、清洁技术夹层
为减少灰尘的来源， 上下技术夹层内所有表面彻底清洁是必要的。 也建议在开工前或停工期间， 以免工作期间引起震动影响无尘室尘量。对千级以上的洁净室， FFU内部也应彻底定期清洗。
4、控制压差
压差控制是一项关系重大的工作，频繁测试工作量大， 完全根据经验和感觉不可取，建议采用AHU电动风量调节阀。高效过滤器终阻力达到 400-600Pa建议更换。其他下列情况发生，高效空气过滤器也应予以更换：
A、气流速度降到最低限度，即使更换初效和中效空气过滤器后，气流速度仍不能增大。
B、高效空气过滤器风量为原风量的70%。
C、高效空气过滤器出现无法修补的渗漏。
5、维护好风管
一般来说，净化空调金属风管与一般空调金属风管相比，有四个不同的使用要求：
1）风管内应保持清洁；
2）密封性要求高；
3）平整度要求高；
4）风管内静压值高。
洁净室的风管系统要保证密封性， 严格检测风管泄漏。最好能够定期进行漏光测试或漏风测试， 监测法兰或螺纹密闭性，必要时进行焊接或密封胶处理。
