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无尘室内空气温度和相对湿度的检测

时间:2021-10-29 16:25 点击次数:
 
洁净室内空气温度和相对湿度的检测
1、根据温度和相对湿度波动范围,应选择相应的具有足够精度的仪表进行测定。每次测定时间隔不应大于30min。
2、洁净室内测定布置:
3、送回风口处;
4、恒温工作区具有代表性的地点(如沿着工艺设备周围布置或等距离布置);
5、没有恒温要求的洁净室中心;
6、测点一般应布置在距外墙表面大于0.5m,离地面0.8m的同一高度上;也可以根据恒温区的大小,分别布置在离地不同高度的几个平面上。
6.1测点数应符合表的规定。
表温、温度测点数

波动范围                          室面积《50m2                     每增加20~50m2                 
Δt=±0.5~±2℃ 5个 增加3~5个
ΔRH=±5℅~±10℅
Δt≤±0.5℃ 点间距不应大于2m,点数不应少于5个
ΔRH≤±5℅
6.2有恒温恒湿要求的洁净室。室温波动范围按各测点的各次温度中偏差控制点温度的最大值,占测点总数的百分比整理成累积统计曲线。如90%以上测点偏差值在室温波动范围内,为符合设计要求。反之,为不合格。
洁净室区域温度以各测点中最低的一次测试温度为基准,各测点平均温度与超偏差值的点数,占测点总数的百分比整理成累计统计曲线,90%以上测点所达到的偏差值为区域温差,应符合设计要求。相对温度波动范围可按室温波动范围的规定执行。

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